測量輪廓

粗糙度、波紋度、原始輪廓

測量參數

R參數：Ra、Rz（ISO）、Rz（JIS）、Rc、Rq、Rt、Rp、Rv、
Rmax、R3z、R3y 、RSk、RS、RSm、 Rmr、Rlo、RHSC、Rpc

W參數：Wa、Wp、Wv、Wt、Wz（ISO）、Wq、Wsk、Wc、WS、
WSm、Wlo、WHSC、Wpc、Wmr(c)、Wz(JIS)

P參數：Pa、Pp、Pv、Pt、Pz（ISO）、Pq、Psk、Pc、PS、
PSm、Plo、PHSC、Ppc、Pmr(c)、Pz(JIS)

Rk參數：Rk、Rvk、Rpk、Mr1、Mr2

Z大測量范圍

800μm

Z高顯示分辨率

0.000125μm/8μm

濾波方式

RC、PC-RC、GAUSS、ISO13565（Rk）

取樣長度

0.008mm、0.25mm、0.8mm、2.5mm、8mm

評定長度

1L-5L（可選），L為取樣長度

Z大驅動行程長度

40mm

示值誤差

≤±5％

示值變動性

≤3％

傳感器針尖材料

天然金剛石

傳感器針尖半徑

2μm

傳感器針尖角度

90°

傳感器測量速度

0.15mm/s、0.5mm/s、1mm/s

傳感器返回速度

2mm/s