便攜式四探針電阻率測試儀 四探針電阻率測定儀 型號： KDY-1A 
概述 
便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。 
本儀器按照半導體材料電阻率的及標準測試方法有關規定設計。 
它主要由電器測量部份（主機）及四探頭組成，需要時可加配測試架。 
為減小體積，本儀器用同一塊數字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分先材料也可以用來作產品檢測。對1～100Ω•cm標準樣片的測量瓿差不過±3%，在此范圍內達到標準一級機的水平。 
測量范圍： 
可測量 電阻率：0.01～199.9Ω•cm。 
可測方塊電阻：0.1～1999Ω/口 
當被測材料電阻率≥200Ω•cm數字表顯示0.00。 
（2）恒流源： 
輸出電流：DC 0.1mA～10mA分兩檔 
10mA量程：0.1～1mA 連續可調 
10mA量程：1mA ～10mA連續可調 
恒流精度：各檔均優于±0.1% 
適合測量各種厚度的硅片 
（3） 直流數字電壓表 
測量范圍：0～199.9mv 
靈敏度：100μv 
準確度：0.2%（±2個字） 
（4） 供電電源： 
AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W 
（5） 使用環境： 
相對濕度≤80% 
（6） 重量、體積 
重量：2.2 公斤 
體積：寬210×高100×深240（mm） 
（7）KD探針頭 
壓痕直徑：30/50μm 
間距：1.00mm 
探針合力：8±1N 
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